XR-F001微型气体质量流量计是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列的传感器均采用先进的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径，成本低，易安装，不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。